“卡脖子”名单再少一项！当所有人都聚焦光刻机核心部件突破时德阳塑料挤出设备厂家，一个被称为光刻机“毛细血管”的关键域，悄悄实现了从0到1的跨越——3家中国高纯特种气体企业，正式通过中芯国际批量认证，打破了长期以来国际巨头的垄断。

这不是普通的技术突破。要知道，在半导体制造的光刻、蚀刻等核心制程中，高纯特种气体的纯度要求高达6N（99.9999%）以上，部分先进制程甚至需要7N级别，一丝杂质就可能导致整片晶圆报废。此前，全球市场被林德、法液空等国际巨头牢牢掌控，国内半导体企业的采购成本居高不下，更随时面临断供风险。

而中芯国际的批量认证，意味着国产高纯特种气体终于具备了规模化供应能力，为中国半导体产业链补上了关键一环。今天，我们就聊聊这3家“隐形冠军”，以及这场突破背后的战略意义。

先搞懂：为何高纯特气是光刻机“毛细血管”？

很多人对半导体制造的认知停留在光刻机、晶圆上，却忽略了特种气体的核心作用。简单说，半导体制造就像“雕刻”晶圆，而高纯特种气体就是“雕刻刀”和“保护盾”：

在光刻环节，光刻混气是光刻机光源的“燃料”，直接决定光刻精度；在蚀刻环节，特种气体能“削去”多余的半导体材料，形成芯片电路；在沉积环节，它又能为芯片覆盖均匀的保护层。更关键的是，这些气体的纯度须达到致——6N级意味着每100万个气体分子中，杂质不能过1个。

此前，国内6N及以上纯度的高纯特种气体国产化率不足40%，几乎全部依赖。一旦国际供应链出现波动，比如地缘政治冲突、贸易限制，国内半导体产能就可能“停摆”。这也是为何高纯特种气体被列入我国关键基础材料“国产替代清单”的核心原因。

3家硬核企业亮相！各有门技，均已登陆资本市场

能通过中芯国际的严格认证，非偶然。这3家企业各自在细分域深耕多年，练就了“门技”，且均已实现上市，具备规模化生产能力：

1. 华特气体（002430）：国内唯一获ASML认证的气体企业

作为广东本土的特种气体龙头，华特气体早已在行业内名声在外。公司亮眼的成绩，是成为国内唯一通过荷兰ASML和日本GIGAPHOTON认证的气体公司德阳塑料挤出设备厂家，其自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne等多款光刻混气，直接适配高端光刻机需求。

截至目前，华特气体已实现55种特气产品的替代，覆盖高纯三氟甲烷、稀混光刻气等核心材料，此前就已成为中芯宁波的优秀供应商，此次批量认证更是对其产品稳定的终认可。

2. 中船派瑞特气（688146）：央企背景的“氟化材料家”

背靠中国船舶集团的中船派瑞特气，是国务院国资委“双百行动”改革试点企业，聚焦电子氟化材料域，核心产品包括三氟化氮、六氟化钨等关键电子特种气体。

作为河北省家科创板上市企业，中船派瑞特气凭借央企的研发资源优势，在高纯氟化气体的提纯技术上实现突破，其产品广泛应用于半导体蚀刻、清洗等制程，此次通过中芯国际认证，标志着国产氟化特种气体达到国际先进水平。

3. 广钢气体（688548）：电子大宗气体的“稳定供应者”

来自广州的广钢气体，塑料挤出机设备注于电子大宗气体的研发生产，拥有ppb级高纯电子大宗气体的制备及稳定供应能力，核心产品包括电子级高纯氮气、氩气、氢气等，这些都是半导体制造中用量巨大的基础特种气体。

作为科创板上市企业，广钢气体打造了从气体制备到储运、数字化运营的全链条供应体系，此次批量认证，意味着国内半导体企业在基础特种气体域，终于有了稳定的国产选择。

【功主治】健脾化湿泄浊，补血活血通络。主治痛风，表现为间歇期、慢期。间歇期、慢期辨证论治。间歇期表现为关节红肿、疼痛消失，局部皮暗红或恢复正常，慢期关节疼痛减轻或骨节肿大变形，甚则溃破，渗出脂膏，期间可急反复发作关节红肿疼痛。

突破的意义：不止于“替代”，更是产业链安全的“压舱石”

可能有人会问：不就是几种气体吗？为何说这是“从0到1”的突破？答案藏在两个关键数据里：

一，市场规模的刚增长。根据行业报告，2021—2025年国内高纯惰气体市场规模从48亿元增长至76亿元，年均增速12.3%，其中半导体域贡献了65%以上的需求；预计到2030年，市场规模将突破140亿元。国产替代的推进，将直接降低国内半导体企业的采购成本，提升行业整体竞争力。

二，产业链安全的战略价值。此前，全球约70%的高纯氖气依赖乌克兰供应，2022年后地缘政治冲突导致供应紧张，让国内半导体企业深刻意识到供应链自主可控的重要。此次3家企业的突破，不仅填补了国内技术空白，更构建了本土特种气体供应体系，为后续2nm以下先进制程的研发奠定基础。

更值得关注的是，国家政策持续加码支持。《“十四五”原材料工业发展规划》明确提出加快稀有气体提纯技术研发，《新材料批次应用示范指导目录（2024年版）》将高纯氙气、氪气等列为优先支持品类，政策红利正持续释放。

未来展望：国产替代任重道远，但曙光已现

当然，我们也要清醒地认识到，高纯特种气体的国产替代还未完成。目前，在7N级高纯气体、部分高端混气域，国内企业仍需追赶国际巨头；在全球供应链中，本土企业的市场份额仍有待提升。

但此次中芯国际的批量认证，无疑是一个重要的里程碑。它证明了国产特种气体企业已经具备了核心技术和规模化供应能力，也为其他关键材料的国产替代树立了榜样。随着研发投入的持续增加、技术的不断迭代，相信未来会有更多“隐形冠军”涌现，撑起中国半导体产业链的“腰杆”。

参考资料

1. 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司官网. 企业简介-中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司|三氟化氮|六氟化钨.

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